Großer, V.V.GroßerMichel, B.B.MichelSchuenemann, M.M.SchuenemannReichl, H.H.Reichl2022-03-092022-03-092001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/339375en621620From modular MEMS to a modular microfactory - the hybrid microfactory?conference paper