Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellung

Ryssel, H.H.Ryssel2022-03-032022-03-031993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/182967deFertigungGerätHalbleiterintegrierte SchaltungJessimaterialMikroelektronik670620530Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellungjournal article