Heidrich, N.N.HeidrichKnöbber, F.F.KnöbberHampl, S.S.HamplPletschen, WilfriedWilfriedPletschenSah, R.E.R.E.SahCimalla, VolkerVolkerCimallaLebedev, VadimVadimLebedevAmbacher, OliverOliverAmbacher2022-03-112022-03-112011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/374314de667AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für ImplantateAlN-based microelectromechanical Structures for Implantsconference paper