Barz, J.J.BarzMüller, MichaelaMichaelaMüllerElkin, B.B.ElkinOehr, ChristianChristianOehr2022-03-042022-03-042010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/223578deParylenbeschichtung660Parylenbeschichtung polymerer Werkstoffebook article