Metzger, M.M.MetzgerZhang, Z.Z.ZhangSchmiedt, B.B.SchmiedtRyssel, H.H.Ryssel2022-03-022022-03-021983https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171853enDotierungimplantationintegrationIonenstrahlImplantation doping of germanium with Be, Mg, Zn und B-ionsbook article