Brandt, G.G.BrandtDischler, B.B.DischlerKoidl, P.P.Koidl2022-03-022022-03-021985https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/172461deamorphe KohlenstoffschichtAnwendungEigenschaftharte Kohlenstoffschicht621667Eigenschaften und Anwendungen harter amorpher Kohlenstoffschichtenjournal article