Neumann, FrankFrankNeumann2022-03-052022-03-052013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/244216Die jüngste Entwicklung des EDM-Kompetenzzentrums des Instituts für Mikrotechnik in Mainz ist die Vibrationserodierspindel >SonoDrive 300<, die nun in den Markt eingeführt wird. Selbst Mikrobohrungen mit einem Durchmesser von weniger als 20 µm lassen sich mit einem Rundlauf von 1 bis 2 µm prozesssicher herstellen.deErodierenEDMEDM-KompetenzzentrumVibrationserodierspindel620journal article