Kibler, SebastianSebastianKiblerLeistner, HenryHenryLeistnerNeumeier, KarlKarlNeumeierThalhofer, ThomasThomasThalhoferAxelsson, KristjanKristjanAxelssonAnheuer, DanielDanielAnheuerRichter, MartinMartinRichterHäfner, JohannesJohannesHäfnerDurasiewicz, Claudia PatriciaClaudia PatriciaDurasiewiczWald, ChristianChristianWaldBußmann, AgnesAgnesBußmannGrünerbel, LorenzLorenzGrünerbel2023-12-052023-12-052023-06-15https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/457581Das hierin beschriebene erfindungsgemäße Konzept betrifft ein Mikrofluid-Bauelement (1000), das einen Membranaktor (100) mit einem Membranelement (101) und einem Aktorelement (102) zum Auslenken des Membranelements (101) aufweist. Eine Signalerzeugungsvorrichtung (103) ist ausgestaltet, um ein elektrisches Ansteuersignal (104) mit einem zeitveränderlichen Signalverlauf zum Ansteuern des Membranaktors (101) zu generieren, wodurch das Aktorelement (102) das Membranelement (101) betätigt. Eine Signalverarbeitungsvorrichtung (105) ist ausgestaltet, um im laufenden Betrieb des Mikrofluid-Bauelements (1000) eine durch einen oder mehrere äußere Einflussfaktoren verursachte Beeinflussung des zeitlichen Signalverlaufs des Ansteuersignals (104) festzustellen, und basierend auf dieser Beeinflussung des zeitlichen Signalverlaufs mindestens einen hierfür ursächlichen äußeren Einflussfaktor zu identifizieren und/oder zu klassifizieren.depatentDE102021214091 A1DE202110214091