Glöß, D.D.Glöß2022-03-072022-03-072007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/277562de620667670Einfluss von Beschichtungsparametern auf den Teilchen- und Energiestrom zum Substrat und Auswirkungen auf ausgewählte Eigenschaften von Titanoxidschichten beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputterndoctoral thesis