Bläsi, BenediktBenediktBläsiGronbach, A.A.GronbachMick, J.J.Mick2022-03-032022-03-032007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/214483de621Großflächige Mikro- und Nanostrukturen durch Interferenzlithographie erzeugenjournal article