Under CopyrightNeugebauer, ReimundReimundNeugebauerLeopold, J.J.LeopoldDix, MartinMartinDix2022-03-102025-03-201.4.20112007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/35740710.24406/publica-fhg-357407deGratbildungGrößeneffektProzessskalierungBohren620670Gratbildung unter Berücksichtigung der Größeneinflüsseconference paper