Faust, W.W.FaustDudek, R.R.DudekMichel, B.B.MichelDost, M.M.Dost2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/323972de621Anwendungen der Laser Scanning Mikroskopie in der Mikrosystemtechnikconference paper