Frauenhoffer, F.F.FrauenhofferMönch, G.G.MönchSchmalfuß, V.V.SchmalfußSturm, R.R.Sturm2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/331039In diesem Beitrag werden für die flexible Halbleiterproduktion charakteristische Planungs- und Steuerungsaufgaben beschrieben und daraus die Struktur eines Planungs- und Steuerungsebenenmodells abgeleitet. Auf diesem Modell basierend werden Anforderungen an ein übergreifendes informationstechnisches Gesamtsystem zur Planung und Steuerung dargestellt sowie eine beispielhafte Grundstruktur entwickelt.deCIMFertigungsplanungFertigungssteuerungHalbleiterfertigungPlanungsebenenmodellSteuerungsebenenmodell670conference paper