Werner, D.D.WernerGrimme, R.R.Grimme2022-03-032022-03-032002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/201589Am Fraunhofer IPA werden Verfahren zur lokalen Reinigung mikrotechnischer Funktionselemente entwickelt. Neben der Laserreinigung wurde eine leistungsfähige Methode zur Reinigung mit CO2-Schnee konzipiert. Entsprechende Reinigungssysteme und -geräte lassen sich kurzfristig an verschiedene Produktionsumgebungen anpassen.deLaserreinigungLaserstrahlReinigenMikrotechnik670669journal article