Belz, J.J.BelzBurbach, G.G.BurbachPeter-Weidemann, J.J.Peter-WeidemannVogt, H.H.Vogt2022-03-022022-03-021989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/176893de621CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafernbook article