Weihnacht, VolkerVolkerWeihnachtSvetlana VitusevichNazarii Boichuk2023-12-062023-12-062023-05-17https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/457667Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Potentialen an einer biologischen, chemischen oder anderen Probe, miteinem Substrat (2) undmindestens einem auf dem Substrat (2) angeordneten Nanodraht (6) aus einem halbleitenden Material,wobei der Nanodraht (6) mit einer Beschichtungsanordnung (11) versehen ist, welche eine Grundbeschichtung (12) aus einem dielektrischen Material umfasst. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.depatentDE102021129950 A1DE202110129950