Brandstätter, C.C.BrandstätterHaugeneder, E.E.HaugenederDöring, H.-J.H.-J.DöringElster, T.T.ElsterHeinitz, J.J.HeinitzFortagne, O.O.FortagneEder-Kapl, S.S.Eder-KaplLammer, G.G.LammerJochl, P.P.JochlLöschner, H.H.LöschnerReimer, K.K.ReimerSaniter, J.J.SaniterTalmi, M.M.TalmiEberhardt, R.R.EberhardtKrönert, K.K.Krönert2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/349683en621Demonstrators: A vital step forward for projection mask-less lithography (PML2)conference paper