Melnikov, AntonAntonMelnikovKaiser, BertBertKaiserLanga, SergiuSergiuLanga2025-07-242025-07-242025-04-10https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/489919Ein MEMS mit einem fluidischen Kanal in zumindest einer MEMS-Schicht wird bereitgestellt. Der fluidische Kanal ist ausgebildet, um eine fluidische Verbindung zwischen einer ersten Kanalseite und einer zweiten Kanalseite bereitzustellen. Eine Seitenwandstruktur des fluidischen Kanals weist eine Scallop-Anordnung auf, wobei der akustische Kanal durch die Scallop-Struktur eine effektive akustische Kanalbreite aufweist, die gegenüber einer Nennkanalbreite vergrößert ist.depatentDE102023209767 A1DE202310209767