Gutzeit, NamNamGutzeitAppelfelder, MichaelMichaelAppelfelderReinlein, ClaudiaClaudiaReinleinFischer, MichaelMichaelFischerMüller, JensJensMüller2022-03-122022-03-122013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/381183de620LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und DehnungssensorikLTCC membrane with integrated heaters, temperature sensors and strain gaugesconference paper