Speulmanns, JanJanSpeulmannsZybell, SabineSabineZybellMohammadian Kia, AlirezaAlirezaMohammadian KiaBönhardt, SaschaSaschaBönhardtWeinreich, WenkeWenkeWeinreichLiske, RomyRomyLiske2022-03-142022-03-142018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/403469en621Ultrathin Lithium Ion Diffusion Barrier for On-Chip 3D All-Solid-State Batteriesposter