Bräuer, A.A.BräuerDannberg, P.P.DannbergSchreiber, P.P.Schreiber2022-03-042022-03-042010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/221823Die technische Miniaturisierung erfordert zunehmend den Einsatz von Mikrooptikmodulen. An die Herstellung dieser Optiken sind jedoch je nach Einsatzgebiet bestimmt Anforderungen gestellt. Eine entsprechende Technologiekette für multilagige Mikrooptikmodule sowie einige Anwendungsbeispiele werden nachfolgend beschrieben.de620535journal article