Silizium: Vom Material zum Wafer - Status und notwendige Entwicklungsschritte

Under CopyrightDold, PeterPeterDold2023-05-232023-05-232023Note-ID: 00007A2Ahttps://publica.fraunhofer.de/handle/publica/442091https://doi.org/10.24406/publica-137410.24406/publica-1374deSilizium: Vom Material zum Wafer - Status und notwendige Entwicklungsschritteconference paper