Gommel, U.U.Gommel2022-03-102022-03-102004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/345031Die Zahl der Betriebsmittel die in reinen Umgebungen (z.B. Mikroelektronik, Pharmazie, Lebensmittelindustrie, Medizintechnik) eingesetzt werden, steigt stetig an. Der Ruf der Hersteller und Anwender nach der Klärung der Frage, ob die Betriebsmittel den geforderten Reinheitskriterien gerecht werden, wird immer stärker. Hierfür bedarf es an standardisierten Prüfprozeduren für die objektive Qualifizierung des Kontaminationsverhalten von Betriebsmitteln sowie einer abschließenden Bewertung.deKontaminationsquelleQualifizierungReinraumtauglichkeitqualificationReinheitsklasseproduction equipmentcleanroom techniquecleanroom suitability cleanliness classcontamination sourceBetriebsmittelKontaminationReinraumtechnik670conference paper