Grueger, H.H.GruegerKnobbe, J.J.Knobbe2022-03-082022-03-082007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/308210(A1) Es wird ein Bauelement (100; 200; 300) beschrieben, mit einem Schwingungselement (1), einer ersten Aufhaengung (2a, 2b), ueber die das Schwiwngungselement in einer ersten Richtung schwingfaehig aufgehaengt ist, einer zweiten Aufhaengung (6; 6a, 6b; 5a, 5b), ueber die das Schwingungselement (1) in einer zweiten Richtung schwingfaehig aufgehaengt ist, eine erste Antriebsvorrichtung (3a, 3b) zum Versetzen des Schwingungselements in eine resonante Schwingung in der ersten Richtung; und eine zweite Antriebsvorrichtung (6, 8; 6a, 6b, 8a, 8b; 6a, 6b, 9a, 9b) zum Versetzen des Schwingungselements (1) in eine Schwingung in der zweiten Richtung, basierend auf einer thermischen Verformung, einer Magnetorestriktion oder einer piezoelektrischen Verformung.DE 102007027428 A1 UPAB: 20090103 NOVELTY - The component (100) has an oscillation element (1) and suspensions (2a,2b) by which the oscillation element is suspended in a direction in an oscillating manner and another suspension (6) by which the oscillation element is suspended in another direction in an oscillating manner. A drive device placed the oscillation element in an oscillation in the latter direction based on a thermal deformation, a magnetorestriction or a piezoelectric deformation. USE - Component for use in two-dimensional deflecting micro mirrors and two-dimensional scanner mirrors. ADVANTAGE - The drive device placed the oscillation element in an oscillation in the latter direction based on a thermal deformation, a magnetorestriction, or a piezoelectric deformation, and hence ensures an improved image resolution and reduced electronic expenditure for correlation between position and source of light modulation.de621patent102007027428