Mokwa, W.W.MokwaKersjes, R.A.R.A.Kersjes2022-03-032022-03-031996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/188891de621Produktion von Si-Mikrosysstemen als Dienstleistung im Rahmen des EU-Projekts EUROPRACTICEbook article