Rettig, ColmarColmarRettig2022-03-062022-03-061999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/273518deFertigungsüberwachungHalbleiterProzeßüberwachungQualitätssicherung621Untersuchung verschiedener Methoden zur Prozeß- und Maschinenüberwachung in der Halbleiterfertigungdoctoral thesis