Ulm, AndreasAndreasUlm2022-03-062022-03-062021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/271075Die Konfokalmikroskopie nutzt ein Mikroskop mit Beleuchtungsblenden, durch die, zusätzlich zur Messung der Probenabmessungen in der Ebene, auch Höhenwerte eines Messobjekts präzise erfasst werden können. Das Konfokalmikroskop erkennt, wenn der Fokuspunkt auf der Oberfläche des Messobjektes liegt, da die Intensität am Detektor hier ein Maximum erreicht und ansonsten stark absinkt.deKonfokalmikroskopieMessung von Mikro- und NanostrukturenMikroskoiekonfokal658670book article