Ansätze zu einer biokompatiblen Aufbau- und Verbindungstechnik für Biomedizinische Mikrosysteme

Stieglitz, T.T.StieglitzUhlemann, J.J.UhlemannKoch, K.P.K.P.KochMeusel, E.E.Meusel2022-03-092022-03-092003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/342604de610620Ansätze zu einer biokompatiblen Aufbau- und Verbindungstechnik für Biomedizinische Mikrosystemeconference paper