Bandorf, R.R.Bandorf2022-03-052022-03-052018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/25659610.1007/s35144-018-0046-5Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Darüber hinaus weisen die Schichten ein hohes Potenzial als Sensorschicht in rauer Umgebung auf. Somit bieten sich sehr gute Alternativen für die Abscheidung hochwertiger glatter Schichten.dedünne SchichtDLC-Schicht669621620journal article