Schäfer, W.W.SchäferSchünemann, M.M.SchünemannSchließer, J.J.SchließerGehringer, H.H.Gehringer2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/326013- Der Maschinenbau hat für die deutsche Wirtschaft eine wesentliche Bedeutung. - Innovationen durch Mikrosystemeinsatz sehen insbesondere Hersteller von Maschinenkomponenten. - Nutzung von Mikrosystemen im Maschinenbau setzt Verfügbarkeit von Mikrosystemen in maschinenbaurelevanten Stückzahlen zu maschinenbaugerechten Marktpreisen voraus. - Lösungsansätze: Modularisierung von Mikrosystemen und modulare, hochflexible Mikrosystemfertigung. - Intelligente/autonome Sensorsysteme mit integrierter Signalverarbeitung/Aktorinterface sind für Maschinene- und Anlagenbau besonders interessant.deHerstellerHochflexible MikrosystemfertigungMaschinenbauMikrosystemMikrosystemtechnikMikrotechnik670conference paper