Dorner, J.J.DornerGeißinger, J.J.Geißinger2022-03-032022-03-031990https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/178593Die diesjährige Step-Europe-Konferenz, die am 11. und 12. Oktober in Brüssel stattfand, präsentierte die neuesten Trends und Entwicklungen für Reinraumtechnik in der Halbleiterfertigung. Um die hohen Zielsetzungen für Fertigungsanforderungen hinsichtlich des 64-Mbit-Chips und der künftigen Giga-Chip-Produktion zu erfüllen, ist eine effektive Koordination, so zum Beispiel im Bereich der Standardisierung der Schnittstellen, erforderlich.dechipFertigungReinraumtechnikSchnittstellesemiconductorUltra-clean-manufacturing670621journal article