Sittinger, V.V.SittingerRuske, F.F.RuskeWerner, W.W.WernerSzyszka, B.B.Szyszka2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/349419de667Aufskalierung reaktiv gesputterter ZnO:Al-Schichten für Dünschicht-Solarmoduleconference paper