Under Copyright2022-03-0727.1.20102009https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/29457110.24406/publica-fhg-294571de620Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien. Jahresbericht 2008Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien. Annual report 2008annual report