Mayer, BerndFricke, HolgerPaul, AndreaKorfe, SaschaTunc, BerivanBerivanTunc2022-03-072022-03-072020https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/283469de620660671Aufbau und Betrieb einer Positionierungsanlage im Nanometerbereich zur Verwendung in der Klebstoffapplikationmaster thesis