Vogt, HolgerPalzer, StefanDreiner, StefanMichel, Marvin D.Münchenberger, Finja M.Finja M.Münchenberger2022-03-072022-03-072021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/283568de621Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gasedoctoral thesis