Bartel, R.R.BartelFickert, A.A.FickertLiebergeld, H.H.Liebergeld2022-03-082022-03-082001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/304893de608667670620Einrichtung zur Durchfuehrung elektronenstrahltechnologischer Prozessepatent1995-19527048