Ryssel, H.Poscher, S.S.Poscher1999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/273528deVertikalofenWiderstandsofenwaferCVD-VerfahrennitrideProzeßsimulation670620530Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidungdoctoral thesis