Windpassinger, R.R.WindpassingerRosenkranz, N.N.RosenkranzScherĂ¼bl, T.T.ScherĂ¼blEvanschitzky, P.P.EvanschitzkyErdmann, A.A.ErdmannZibold, A.A.Zibold2022-03-092022-03-092003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/342489en670620530EUV mask simulation for AIMSconference paper