Büchler, AndreasAndreasBüchlerGlatthaar, MarkusMarkusGlatthaarHofmann, MarcMarcHofmannKafle, BishalBishalKafleKluska, SvenSvenKluskaNagel, HenningHenningNagel2022-03-082022-03-082019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/311895Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte auf einer Solarzelle, das folgende Schritte umfasst:- Aufbringen einer dielektrischen Ausgangsbeschichtung auf dem Halbleiter-Substrat der Solarzelle,- Abtragen der dielektrischen Ausgangsbeschichtung in definierten Bereichen, so dass eine strukturierte dielektrische Beschichtung und freigelegte Bereiche des Halbleiter-Substrats erhalten werden,- Behandlung der freigelegten Bereiche des Halbleiter-Substrats mit einem halogenhaltigen Gas in einem Plasma-freien Trockenätzschritt unter Erhalt eines geätzten Halbleiter-Substrats in den freigelegten Bereichen,- elektrochemische oder chemische Abscheidung eines Metalls oder eines Halbleiters auf dem geätzten Halbleiter-Substrat.de621697patent102017217713