Beckmann, TobiasTobiasBeckmann2022-03-062022-03-062020https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/26529910.1007/s35144-020-1012-62-s2.0-85096764413de621669620Schnelle optische Vermessung von Mikrostrukturen auf tellergroßen Flächenjournal article