Reuschling, R.R.ReuschlingSchultheiß, E.E.Schultheiß2022-03-032022-03-032005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/20762210.1002/vipr.200500265Ionenquellen kommen in der Vakuum-Dünnschichttechnik in vielfältigen Bauarten und Anwendungen zum Einsatz. Der Artikel bietet eine Übersicht über die Grundlagen für den Betrieb einer Ionenquelle sowie über den aktuellen Stand der Technik. Er beschreibt dabei die wesentlichen Parameter einer Quelle, typische Bauformen und Applikationen sowie die Komponenten der Stromversorgung.deVakuumDünnschichttechnikIonenquelle667670620533journal article