Under CopyrightKulicke, MarianneMarianneKulickeBerghäuser, HendrikHendrikBerghäuser2022-03-0821.2.20202014https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/30012110.24406/publica-fhg-300121de303600Die Förderlinie EXIST-Forschungstransferreport