Matuscheck, P.P.MatuscheckGaugel, T.T.GaugelSchließer, J.J.SchließerSchäfer, W.W.Schäfer2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194423Der Artikel geht auf die Reinheitsanforderungen bei der Herstellung von Produkten in der Elektronikfertigung ein. Es werden die Anforderungen der Produkte an eine Reinheitsumgebung dargestellt. Ausgehend davon wird ein uebergreifendes Reinheitssystem vorgestellt, wobei die Komponente Reinstlufttechnik detailliert erlaeutert wird. Basierend auf den Erfahrungen des Fraunhofer IPA wird die Problemstellung eines angepassten Reinstluftsystems fuer die Elektronikfertigung dargelegt.decleanlinessElectronic ManufacturingelectrostaticsElektronikElektronikfertigungElektrostatikFertigungKontaminationLuftreinheitsklasseparticleparticle sizeReinheitReinheitssystemTeilchen670621journal article