Title

MOEMS and Miniaturized Systems X
Titel Supplements
SPIE Photonics West, 22.-27.1.2011, San Francisco, California, USA
Institut
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.
Verlag
Verlagsort
Bellingham, WA
Datum
2011
Serie
Proceedings of SPIE
ISBN
978-0-8194-8467-3
Konferenz