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Höher, präziser, multifunktional - Von mikro- zu mesoskaligen Strukturen durch ‚Next-Level-Laserlithografie‘ als Kernbaustein einer leistungsfähigen Prozesstechnologie
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Project Title
Höher, präziser, multifunktional - Von mikro- zu mesoskaligen Strukturen durch ‚Next-Level-Laserlithografie‘ als Kernbaustein einer leistungsfähigen Prozesstechnologie
Internal ID
497866273
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Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft -DFG-, Bonn