Title

Mikro-Nano-Integration. Beiträge des 5. GMM-Workshops 2014. CD-ROM

Title Supplement
8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau
Person Involved
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2014
Series
GMM-Fachbericht; 81
ISBN
978-3-8007-3632-4
Conference