Title

Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Title Supplement

10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg

Person Involved

Corporate Author

Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-

Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2005

ISBN

3-8007-2926-1

978-3-8007-2926-5

Conference