Title

Mikro-Nano-Integration. CD-ROM

Title Supplement
Beiträge des 1. GMM-Workshops, 12. - 13. März 2009 in Seeheim
Person Involved
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2009
Series
GMM-Fachbericht; 60
ISBN
978-3-8007-3155-8
Conference