Title

Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik. Vorträge des 2. GMM-Workshops 2010. CD-ROM

Title Supplement
10. bis 11. Mai 2010 in Darmstadt
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2010
Series
GMM-Fachbericht; 65
ISBN
978-3-8007-3253-1
Conference