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Title
Production Research for Micro- and NanoTechnology
Title Supplement
MiNaT 2008 - Fachmesse für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nanotechnologien, Stuttgart, October 7th - 9th, 2008
Corporate Author
Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-
Publishing Place
Stuttgart
Publication Date
2008